光子芯片
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中国团队研发光子芯片可批量制造
5月8日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）的欧欣研究员团队在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展，相关成果以《可批量制造的钽酸锂集成…
5月8日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）的欧欣研究员团队在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展，相关成果以《可批量制造的钽酸锂集成…